Hitachi

装置管理システム(VCIM-EC)

主な機能

VCIM‐ECC

  • 製造装置へのレシピNo.のダウンロード
  • 製造装置からの加工条件実績、稼働状態、アラーム報告データのオンライン自動
  • 収集(世界標準のSEMI通信仕様に完全準拠)
  • 各種シーケンサからの直接データ収集
  • リアルタイムな装置稼働状況のモニタリングとEESへの対応

VCIM‐MNT

  • オフライン入力による保守実績、点検実績データの収集
  • 稼働率や装置保守内容に関する円グラフや棒グラフなど、ご要望に応じた各種グラフ作成

イメージ画面装置管理を行うVCIM-ECは、オンライン接続した製造装置へのレシピナンバーのダウンロードによる作業信頼性向上および加工条件実績と稼働実績、装置保守実績の管理による装置の安定稼働をサポートします。

装置管理システム(VCIM-EC)イメージ画像